JJF 1351-2012 扫描探针显微镜校准规范
作者:标准资料网
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基本信息
| 标准名称： | 扫描探针显微镜校准规范 |
| 英文名称： | Calibration Specification for Scanning Probe Microscopes |
| 发布部门： | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 |
| 发布日期： | 2012-06-18 |
| 实施日期： | 2012-09-18 |
| 首发日期： | |
| 作废日期： | |
| 主管部门： | 全国几何量长度计量技术委员会 |
| 归口单位： | 全国几何量长度计量技术委员会 |
| 起草单位： | 中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所、上海计量测试技术研究院、贵州计量测试院等 |
| 起草人： | 朱振宇、任冬梅等 |
| 出版社： | 中国质检出版社 |
| 出版日期： | 2012-09-18 |
| 页数： | 20页 |
适用范围
本规范适用于以几何表面形貌为测量对象的扫描探针显微镜的校准。
扫描探针显微镜根据其设计原理不同,校准时需要根据实际情况选择相关的计量特性。对有特殊要求的测量任务,如对溯源要求较高的测量,不在本校准规范的适用范围。
前言
没有内容
目录
x引言 (Ⅱ) 1 范围 (1) 2 引用文件 (1) 3 术语和定义 (1) 3.1 扫描探针显微镜 (1) 3.2 扫描探针显微镜Z 向漂移 (1) 4 概述 (1) 5 计量特性 (2) 5.1 扫描探针显微镜Z 向漂移 (2) 5.2 X、Y 轴位移测量误差 (2) 5.3 Z 轴位移测量误差 (2) 5.4 扫描探针显微镜测量重复性 (2) 5.5 X、Y 坐标正交性误差 (2) 6 校准条件 (2) 6.1 环境条件 (2) 6.2 标准器 (2) 7 校准项目和校准方法 (3) 7.1 扫描探针显微镜Z向漂移 (3) 7.2 X、Y 轴位移测量误差 (4) 7.3 Z 轴位移测量误差 (5) 7.4 扫描探针显微镜测量重复性 (6) 7.4.1 X、Y 轴测量重复性 (6) 7.4.2 Z轴测量重复性 (6) 7.5 X、Y 坐标正交性误差 (6) 8 校准结果表达 (7) 9 复校时间间隔 (7) 附录A 扫描探针显微镜校准结果的测量不确定度评定 (8)
引用标准
本规范引用下列文件:
JJF1001—2011 通用计量术语及定义
GB/T19067.1—2003 产品几何量技术规范(GPS)表面结构 轮廓法 测量标准 第1部分:实物测量标准
凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本规范;凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本规范。
所属分类： 医药 卫生 劳动保护 医药 卫生 劳动保护综合 医学 医药卫生技术 医学科学和保健装置综合
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